Descripción
1. Aplicaciones:
Es adecuado para el almacenamiento de obleas de silicio y cajas de obleas durante el proceso de producción de silicio monocristalino frontal de semiconductores, y evita el fenómeno de devolver partículas y devolver la niebla a las obleas de silicio;
Adecuado para almacenar artículos que necesitan ser protegidos de la contaminación por polvo.
2. Características del producto:
1) El rango de visualización de humedad es de 0.1% ~ 99.9% HR, y el rango de visualización de temperatura es de-40 ° C ~ 70,0 ° C (por debajo de-9,9 ℃, pantalla a un solo dígito); Pantallas LED ultra brillantes de 4 pulgadas; Exactitud de la pantalla: humedad ± 3% RH; temperatura ± 1 °C;
2) El gabinete y los estantes se hacen del acero inoxidable del espejo 304;
3) El valor de la resistencia superficial es 106~ 108Ω;
4) Ventilador libre de polvo: ventilador FFU especial importado para sala limpia, material de placa galvanizado, impulsor de aleación de aluminio. Velocidad del viento: 0,3-0,45 m/s, ruido <= 55dB;
5) Filtro de alta eficiencia con protección de malla de doble cara, la eficiencia de filtración es tan alta como 99.99% @ 0.3um;
6) Diseño modular: Esta máquina adopta un diseño modular único. La pantalla de temperatura y humedad, el sistema de control y el sistema de eliminación de polvo se pueden reemplazar rápidamente, y el mantenimiento y la reparación son simples, lo que mejora en gran medida la eficiencia del mantenimiento;
7) Los productos pasaron certificados del CE, de RoHS y de la C-señal;
Opciones para las demandas especiales del cliente:
1. sistema de control de ahorro de nitrógeno;
2. sistema de alarma;