Beschreibung
1. Anwendungen:
Es eignet sich für die Lagerung von Silizium wafern und Wafer boxen während des Produktions prozesses von mono kristallinem Halbleiter-Front-End-Silizium und verhindert das Phänomen der Rückführung von Partikeln und der Rückführung von Nebel zu Silizium wafern.
Geeignet für die Lagerung von Gegenständen, die vor Staub verschmutzung geschützt werden müssen.
2. Produkt merkmale:
1) Der Luft feuchtigkeit anzeige bereich beträgt 0,1% bis 99,9% RH und der Temperatur anzeige bereich beträgt-40 ° C ~ 70,0 ° C (unter-9,9 ° C, Anzeige in einstelligen Bereich); 4-Zoll ultra helle LED-Segment anzeigen; Anzeige genauigkeit: Luft feuchtigkeit ± 3% RH; Temperatur ± 1 ° C;
2) Der Schrank und die Regale bestehen aus Edelstahl des Spiegels 304;
3) Der Oberflächen widerstands wert beträgt 106~ 108Ω;
4) Staub freier Ventilator: importierter spezieller FFU-Ventilator für Reinraum, verzinktes Platten material, Laufrad aus Aluminium legierung. Wind geschwindigkeit: 0,3-0,45 m/s, Lärm <= 55dB;
5) Hoch effizienter Filter mit doppelseitigem Maschen schutz, die Filtration effizienz ist so hoch wie 99,99% @ 0,3 um;
6) Modulares Design: Diese Maschine nimmt ein einzigartiges modulares Design an. Die Temperatur-und Feuchtigkeit anzeige, das Kontroll system und das Stauben tfernungs system können schnell ausgetauscht werden, und die Wartung und Reparatur sind einfach, was die Wartungs effizienz erheblich verbessert.
7) Die Produkte bestanden CE-, RoHS-und C-Tick-Zertifikate;
Optionen für die besonderen Anforderungen des Kunden:
1. Stickstoff sparendes Kontroll system;
2. Alarmanlage;
