Descrizione
1. Applicazioni:
È adatto per lo stoccaggio di wafer di silicio e scatole di wafer durante il processo di produzione del silicio monocristallino front-end a semiconduttore e previene il fenomeno delle particelle di ritorno e della nebbia di ritorno ai wafer di silicio;
Adatto per la conservazione di oggetti che devono essere protetti dall'inquinamento da polvere.
2. Caratteristiche del prodotto:
1) L'intervallo di visualizzazione dell'umidità è 0,1% ~ 99,9% RH e l'intervallo di visualizzazione della temperatura è-40 ° C ~ 70,0 ° C (inferiore a-9,9 ℃, display a cifre singole); Display a segmenti LED ultra-luminosi da 4 pollici; Precisione del display: umidità ± 3% RH; temperatura ± 1 ° C;
2) Il gabinetto e gli scaffali sono fatti di acciaio inossidabile dello specchio 304;
3) Il valore di resistenza superficiale è 106~ 108Ω;
4) Ventilatore senza polvere: ventilatore speciale importato di FFU per la stanza pulita, materiale galvanizzato del piatto, girante della lega di alluminio. Velocità del vento: 0,3-0,45 m/s, rumore <= 55dB;
5) Filtro ad alta efficienza con protezione della maglia su due lati, l'efficienza di filtrazione è pari a 99,99% @ 0.3um;
6) Design modulare: questa macchina adotta un design modulare unico. Il display della temperatura e dell'umidità, il sistema di controllo e il sistema di rimozione della polvere possono essere sostituiti rapidamente e la manutenzione e la riparazione sono semplici, il che migliora notevolmente l'efficienza della manutenzione;
7) I prodotti hanno superato i certificati CE, RoHS e C-Tick;
Opzioni per le richieste speciali del cliente:
1. sistema di controllo di risparmio di azoto;
2. Sistema di allarme;
