คำอธิบาย
1.การใช้งาน:
เหมาะสำหรับการจัดเก็บเวเฟอร์ซิลิกอนและกล่องเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิตของซิลิกอน monocrystalline ซิลิคอนด้านหน้าของเซมิคอนดักเตอร์และป้องกันปรากฏการณ์ของอนุภาคที่กลับมาและหมอกกลับไปยังเวเฟอร์ซิลิกอน;
เหมาะสำหรับจัดเก็บสิ่งของที่ต้องได้รับการปกป้องจากมลภาวะทางฝุ่น
2.คุณสมบัติผลิตภัณฑ์:
1) ช่วงการแสดงความชื้นคือ0.1% ~ 99.9% RH และช่วงการแสดงอุณหภูมิคือ-40 °C ~ 70.0 °C (ต่ำกว่า-9.9 ℃ แสดงเป็นตัวเลขเดียว); จอแสดงผล LED ขนาด4นิ้วที่สว่างเป็นพิเศษความแม่นยำในการแสดงผล: ความชื้น ± 3% RH อุณหภูมิ ± 1 °C
2) ตู้และชั้นวางทำจากสแตนเลสกระจก304;
3) ค่าความต้านทานพื้นผิวคือ106.~ 108นิ้ว8นิ้วΩ;
4) พัดลมปราศจากฝุ่น: นำเข้าพัดลม FFU พิเศษสำหรับห้องสะอาดวัสดุแผ่นสังกะสีใบพัดอลูมิเนียม ความเร็วลม: 0.3-0.45เมตร/วินาที, เสียงรบกวน <= 55dB;
5) ตัวกรองประสิทธิภาพสูงพร้อมการป้องกันตาข่ายสองด้านประสิทธิภาพการกรองสูงถึง99.99% @ 0.3um;
6) การออกแบบโมดูลาร์: เครื่องนี้ใช้การออกแบบโมดูลาร์ที่ไม่เหมือนใคร จอแสดงผลอุณหภูมิและความชื้นระบบควบคุมและระบบกำจัดฝุ่นทั้งหมดสามารถเปลี่ยนได้อย่างรวดเร็วและการบำรุงรักษาและการซ่อมแซมเป็นเรื่องง่ายซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการบำรุงรักษา
7) ผลิตภัณฑ์ผ่านใบรับรอง CE, RoHS และ C-Tick;
ตัวเลือกสำหรับความต้องการพิเศษของลูกค้า:
1.ระบบควบคุมการประหยัดไนโตรเจน
2.ระบบเตือนภัย;
