Mô tả
1. Ứng dụng:
Nó phù hợp để lưu trữ các tấm Wafer silicon và hộp Wafer trong quá trình sản xuất Silicon đơn tinh thể bán dẫn phía trước, và ngăn chặn hiện tượng các hạt trở lại và trở lại sương mù cho các tấm silicon;
Thích hợp để lưu trữ các mặt hàng cần được bảo vệ khỏi ô nhiễm bụi.
2. Tính năng sản phẩm:
1) phạm vi hiển thị độ ẩm là 0.1% ~ 99.9% RH và phạm vi hiển thị nhiệt độ là-40 ° C ~ 70.0 ° C (Dưới-9.9 ℃, hiển thị thành một chữ số); màn hình phân đoạn LED siêu sáng 4 inch; Độ chính xác hiển thị: độ ẩm ± 3% RH; nhiệt độ ± 1 ° C;
2) tủ và kệ được làm bằng thép không gỉ gương 304;
3) giá trị điện trở bề mặt là 106~ 108Ω;
4) quạt không bụi: Quạt ffu đặc biệt nhập khẩu cho phòng sạch, vật liệu tấm mạ kẽm, cánh quạt hợp kim nhôm. Tốc độ gió: 0.3-0.45 mét/giây, tiếng ồn <= 55db;
5) Bộ lọc hiệu quả cao với bảo vệ lưới hai mặt, hiệu quả lọc cao tới 99.99% @ 0.3um;
6) thiết kế mô-đun: Máy này sử dụng một thiết kế mô-đun độc đáo. Màn hình hiển thị nhiệt độ và độ ẩm, hệ thống điều khiển và hệ thống loại bỏ bụi đều có thể được thay thế nhanh chóng, và việc bảo trì và sửa chữa rất đơn giản, giúp cải thiện đáng kể hiệu quả bảo trì;
7) các sản phẩm đã thông qua chứng chỉ CE, RoHS và C-Tick;
Các lựa chọn cho nhu cầu đặc biệt của khách hàng:
1. Hệ thống kiểm soát tiết kiệm Nitơ;
2. Hệ thống báo động;