アプリケーション

半導体ラインでは、ストレージをプロセス設備として扱います。EJERの乾燥キャビネットと窒素キャビネットは、装置の隣に既知の気候環境を提供します。湿気感受性パッケージには超低湿度、酸化が故障モードとなる場合は窒素環境を実現します。

主なユーザーは、ウェーハファブ、OSAT（後工程専門受託製造業者）、パッケージング工場、ICモジュール工場、および大学のマイクロエレクトロニクス研究所です。ウェーハ、リードフレーム、MSD（湿気感受性デバイス）、およびプロセス材料は、プロセスステップ間でキャビネット内に保管され、床での寿命が一時停止されます。これにより、毎日のベークによる回復が必要なくなります。

電極粉体、セパレータおよび関連電子部品は、ホール内の空気から水分を吸収します。乾燥した環境での保管と記録された乾燥工程により、形成やフィールド経年劣化後に初めて顕在化する収率損失を削減できます。

太陽光発電セルおよびモジュール工場、電池材料およびセルメーカー、ならびにエネルギー貯蔵装置メーカー向けに仕様されています。カソードおよびアノード材料、PVセル、センサー、パワーエレクトロニクスはプロセス待ちの間、乾燥キャビネット内に保管されます。ドライエアだけでなく温度プロファイルが必要な方法の場合には、乾燥オーブンが使用されます。

研究室では、工場と同じデジタル制御を採用し、実験台サイズにスケールダウンしています。試薬、光学部品、サンプル用の乾燥キャビネットや、文書化された温度管理手法が必要な場合に使用する乾燥オーブンなどを備えています。

主なユーザーは大学、政府機関、産業用研究所、製薬および化学分野の研究開発部門、計量室などです。このキャビネットは、湿気に敏感なサンプル、精密機器、教育用教材を保護します。単なる家具ではなく、小型のプロセス気候環境として機能します。